複合動作ユニット・システム

省力化機器や自動化機器、検査装置の実現には直線運動と回転運動を組み合わせた複合動作ユニットが適しています。XYX軸にθ軸を組合せることでより正確な位置補正ができるため、作業精度向上と作業時間短縮が期待できます。 HIWINでは複合動作ユニットを可能にする要素部品とメカトロ製品のワンストップソリューションだけでなく、XYステージやシステムのトータルソリューションの提供が可能です。


ウエハ露光装置
FPD検査装置
プリント基板加工機
自動機
検査装置

ステージ・システム関連