電子半導体
電子半導体向けステージに関する豊富な開発経験や専門知識を備えており、高精度化、低振動化、高速化ニーズに対応する高精度ステージや、お客様のコア技術を生かす最適なシステムのご提案をします。
当社独自の技術を盛り込んだナノ精度ステージ、DiAMOND（ダイアモンド）は、世界最高峰の精度を誇り、台湾エクセレンス金賞受賞や米最大手半導体メーカーの採用など高い評価を受けています。
ウエハ搬送ロボット・ステージ
機械要素部品
単軸ロボット
モータ・ドライバ・コントローラ
