フラットパネル ・半導体産業 ・医療機材・設備 ・フラットパネルガラス基板搬送システム ・環境検査・試験
単軸ロボット
KSシリーズ
高防塵型
クリーンルーム設備向けの防塵設計(吸気ポート装備)。モーターとボールねじを連動させて動かす仕組み 。防塵設計なので、半導体製造装置、発光ダイオード(LED)検査装置、医療機材などの機械製品にお使いいただけます。
・クリーンルーム用
・ステンレスカバー
・ACサーボモータ内蔵(オプション)
・繰返し位置決め精度± 0.02mm
・すぐれた防塵性
・多種ストローク対応