拡散炉、溶接装置などの半導体製造設備・熱処理設備・真空用途(プラスチック、ゴムを含まない製品の気体放出)に
リニアガイドウェイ
SE
耐熱オプション
部品はすべて金属製のため、耐高温を実現。耐熱温度150℃、瞬間温度200℃。