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拡散炉、溶接装置などの半導体製造設備・熱処理設備・真空用途(プラスチック、ゴムを含まない製品の気体放出)に
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部品はすべて金属製のため、耐高温を実現。耐熱温度150℃、瞬間温度200℃。
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