表2.6.1 ブロックのタイプ表2.6.2 レールのタイプ CAHDNB自動化装置高速搬送設備精密測定器具半導体設備スクエアフランジタイプ型番形状上面から取付高さ（mm）（mm）底面から取付レール長さ主な用途QEH-SAQEH-CAQEW-SAQEW-CAQEW-SBQEW-CB2448244824481004000100400010040001-922.6.3 QEシリーズの形状および取付方法2.6.4 精度等級QEシリーズの精度等級は並級（C）、上級（H）、精密級（P）、超精密級（SP）、超々精密級（UP）の5等級があり、使用装置の精度によって選べます。
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