総合カタログ

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 LMX1Lシリーズの標準軸 繰返し位置決め精度±2μｍ ベースフレームと合わせて出荷 コアレスモータLMC 繰返し位置決め精度±2μｍ 本技術は世界中で多くの加工例で実証済み エアベアリングにより摩耗なし 全ストロークにわたる水平度保証（1000mm×1000mmまで） 繰返し位置決め精度±3μｍLMX1シリーズを用いたガントリシステム製造装置、検査装置、自動化設備など応用範囲の広いステージです。 LMCシリーズを用いた小型ガントリシステムレーザー加工や光学検査などに適した構造です。平面モータ位置センサを内蔵した検査に適したステージです。専用ドライバに 接続することで複雑な平面運動を行うことができます。当社リニアモータステージは標準型の提供だけでなく、ご要望に応じカスタム対応します。さらにステージが最適な動作をするためのソフトウェア開発も承っております。本カタログのステージ選定シートをご記入のうえ当社担当営業までご相談ください。電子半導体向け高精度位置決めステージに関する豊富な開発経験や専門知識をもとに最適なステージのご提案をします。本項ではカスタム型位置決めステージの一例をご紹介します。252. カスタム型位置決めステージ