5.63L.NHL1*122x2-Ø6H7 THRU3445667889H80)22(118715635012222851081)98()22(8715012211851081)98(22表1.14 リニアモータステージ仕様（mm）（mm）（mm）10020030040050060070080090010001100120040050060070080090010007511001200130014001500603575L1151801104-M6x1.0Px12DPNx150 （注1）L-302x2-φ6H7 THRU2x(N+1)-φ6.5 THRU,φ11x8.5DP18(68)2226303438424650545862959595959595959595951051056035L115+方向180110有效行程4 - M6x1.0Px12DPL-30L +方向有効ストローク80質量（kg）(68)ストローク（mm）カバー有カバー無極限接頭1923272x(N+1)-Ø6.5 THRU,31Ø11x8.5DP353943475155596375極限コネクタ75L13585603585603585Nx150 (註1)60358560*1 ストロークが100mmのとき、取付穴間隔は 300mm。21LMCB5カバー有（色付細線：カバー無）
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