表1.9 SA31,32,33 ステージ仕様）N（力推）N（力推）N（力推s/m（度速加s/m（度速加s/m（度速加SA31 FpSA31 Fc28002400200016001200800400001356）0）0135601356）00SA31/SA31L60504030201001040302050負荷（kg）SA31L FpSA31L Fc28002400200016001200800400024速度（m/s）60504030201006070SA31292823SA32FpSA32 FcSA32L FpSA32L Fc24速度（m/s）SA32/SA32L1040302050負荷（kg）6070デジタル 1μmエンコーダ / アナログエンコーダ: ± 1デジタル 0.1μm エンコーダ: ± 0.5デジタル 1μmエンコーダ /アナログエンコーダ: ± 2デジタル 0.1μm エンコーダ: ± 1SA33FpSA33 Fc280024002000160012008004000SA33/SA33L60504030201001040302050負荷（kg）SA338752469SA32L10.550SA33L FpSA33L Fc24速度（m/s）6070仕様連続推力,FC（N）ピーク推力,FP（N）ストローク（mm）分解能繰返し精度（µm）*1精度（µm）*1 *2水平真直度（µm）垂直真直度（µm）可動質量（kg）負荷容量（kg）A-Load曲線加速度-負荷曲線推力-速度曲線（DCバス電圧 = 325V）*3F-V曲線(DC bus = 325V)SA31LSA3258358316461646100~1000（mm）2928230.1µm / 1.0µm / アナログ 1Vpp10 / 500 mm20 / 500 mm7.540SA33L875246914.560*1 数値測定は当社測定標準に基づいています。*2 誤差補正後。*3 推力-速度曲線はモータの特性曲線です。実際の速度はストローク、負荷および加速度で変わります。速度-ストローク曲線をご参照ください。 備考 全数値は石定盤で測定、ステージ取付穴は適正に設定されています。 上述のすべての仕様は標準です。特別仕様については当社へお問合せください。10-14
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