840630表1.5 SA21,22,23 ステージ仕様）N（力推）N（力推）N（力推2s/m（度速加2s/m（度速加2s/m（度速加160014001200100080060040020006050403020100SA21 FpSA21 FcSA21L FpSA21L Fc24速度（m/s）013560135601356）））000SA21/SA21L10302040負荷（kg）50SA21181512SA22 FpSA22 Fc16001400120010008006004002000605040302010060102040負荷（kg）デジタル 1μmエンコーダ / アナログエンコーダ: ± 1デジタル 1μmエンコーダ /アナログエンコーダ: ± 2デジタル 0.1μm エンコーダ: ± 0.5デジタル 0.1μm エンコーダ: ± 1SA22L FpSA22L Fc1600140012001000800600400200024速度（m/s）SA22/SA22L6050403020100305060SA23 FpSA23 FcSA23L FpSA23L Fc24速度（m/s）SA23/SA23L10302040負荷（kg）50SA235441535SA23L36210235441535115060連続推力,FC（N）ピーク推力,FP（N）ストローク（mm）分解能繰返し精度（µm）*1精度（µm）*1 *2水平真直度（µm）垂直真直度（µm）可動質量（kg）負荷容量（kg）F-V曲線(DC bus = 325V)推力-速度曲線（DCバス電圧 = 325V）*3A-Load曲線加速度-負荷曲線仕様SA21LSA223621023SA22L181512100~10000.1µm / 1.0µm / アナログ 1Vpp10 / 500 mm20 / 500 mm*1 数値測定は当社測定標準に基づいています。*2 誤差補正後。*3 推力-速度曲線はモータの特性曲線です。実際の速度はストローク、負荷および加速度で変わります。速度-ストローク曲線をご参照ください。備考 全数値は石定盤で測定、ステージ取付穴は適正に設定されています。 上述のすべての仕様は標準です。特別仕様については当社へお問合せください。-9
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