総合カタログ
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830620510表1.1 SA11,12,13 ステージ仕様)N(力推)N(力推)N(力推2s/m(度速加2s/m(度速加2s/m(度速加10008006004002005040302010SA11 FpSA11 Fc24速度(m/s)SA1110201525負載(kg)負荷30SA11103289デジタル 1μmエンコーダ / アナログエンコーダ: ± 1デジタル 1μmエンコーダ /アナログエンコーダ: ± 2SA12 Fp1000800600400200000013560135601356)005))0505605040302010035デジタル 0.1μm エンコーダ: ± 0.5デジタル 0.1μm エンコーダ: ± 1SA12 Fc100080060040020024速度(m/s)SA12605040302010020151025負載(kg)負荷3035SA12205579100~1000(mm)0.1µm / 1.0µm / アナログ 1Vpp10 / 500 mm20 / 500 mmSA13 Fp24速度(m/s)SA1320151025負載(kg)負荷SA13308868SA13 Fc3035連続推力,FC(N)ピーク推力,FP(N)ストローク(mm)分解能繰り返し精度(µm)*1精度(µm)*1 *2水平真直度(µm)垂直真直度(µm)可動質量(kg)負荷容量(kg)A-Load曲線加速度-負荷曲線仕様推力-速度曲線(DCバス電圧 = 325V)*3F-V曲線(DC bus = 325V)*1 数値測定は当社測定標準に基づいています。*2 誤差補正後。*3 推力-速度曲線はモータの特性曲線です。実際の速度はストローク、負荷および加速度で変わります。速度-ストローク曲線をご参照ください。 備考 全数値は石定盤で測定、ステージ取付穴は適正に設定されています。   上述のすべての仕様は標準です。特別仕様については当社へお問合せください。-51.2.2 仕様と寸法

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